CMTX가 미국 반도체 장비 업체인 램리서치와의 주요 특허무효 소송에서 승소했습니다. 지난 16일 특허심판원은 CMTX의 청구에 따라 램리서치의 '무선 주파수(RF) 접지 복귀 장치들' 특허를 무효로 판정했습니다. 이 결정으로 인접 특허 2건이 무효화되었고, 램리서치가 제기한 특허권 침해 금지 소송에도 영향을 미칠 것으로 예상됩니다.
해당 특허는 플라즈마 공정 챔버 내에서 무선 주파수(RF) 전류 흐름을 제어해 챔버 벽을 보호하고 이상 방전을 방지하는 기술에 관한 것이었습니다. 이에 대한 분쟁은 반도체 식각 공정 장비 내부에서 사용되는 '한정 링' 부품을 중심으로 이뤄졌습니다. 하지만 특허심판원은 선행기술의 결합으로 일반적인 기술자가 구현할 수 있는 것으로 판단하여 이 특허의 진보성을 인정하지 않았습니다.
램리서치는 이번 판정에 불복할 경우 특허법원에 소송을 제기할 수 있어 법적 다툼이 예상되고, 이 소송은 소모성 부품 시장을 통제하려는 전략으로 해석됩니다. 램리서치는 최근 특허 등록건수를 확대하고 국내 기업을 상대로 소송을 제기해왔습니다. 한편, CMTX 관계자는 이번 심결을 통해 자사 제품이 램리서치의 지식재산권을 침해하지 않았음을 확인했다며 향후 특허 재판과 민사 소송에서 유리하게 작용할 것이라고 밝혔습니다.