삼성전자가 반도체 공장에서 발생하는 폐열을 재활용하여 환경과 경제적 이점을 동시에 얻고 있다.
업계 소식에 따르면 삼성전자는 평택 팹(FAB)에서 폐열 회수 전용 냉동 시스템과 자동 제어 로직을 도입하여 연간 331억원의 난방 비용을 절약했다. 반도체 제조과정에서 발생하는 대규모 폐열을 회수해 외조기(OAC)의 난방 열원으로 활용하는 자동화 로직을 구현했다. 이를 통해 난방용 증기를 만들던 LNG 보일러 사용을 획기적으로 줄이고, 운영비를 331억원 절감하고 1446억원의 투자비 대체 효과를 얻었다.
또한, 삼성전자는 기존 장비를 친환경 냉매를 사용하는 초대형 장비로 교체하여 전력 효율을 높이는 방안을 추진 중이다. 이 초대형 장비는 거실용 에어컨 약 2000대를 동시에 가동할 수 있는 능력을 지니고 있다. 고압 기술을 도입하여 전력 손실을 줄이고, 복잡한 공장 배선 면적을 최적화하여 추가 반도체 생산 장비를 설치할 수 있는 여유 공간을 마련했다.
이러한 노력은 환경 개선에도 기여했다. 폐열 회수로 인근 주민들의 불편을 해소하고, 온실가스 배출량을 감축하여 연간 3만3763톤의 온실가스를 줄였다. 또한, 친환경 냉매를 사용하여 글로벌 환경 규제에 대응하고 있다.
삼성전자는 폐열 회수를 더 확대하여 라인별 사용률을 높이는 계획을 밝히며, 환경과 경제성을 동시에 고려한 지속 가능한 기술 개발을 추구하고 있다.