중국 반도체 식각 장비업체 중미반도체(AMEC)가 개발한 공정 챔버 8800개 이상이 현재 실제 반도체 양산라인에서 운영 중인 것으로 확인됐다. 이는 중국산 장비가 개발 및 검증을 거쳐 실제 생산 현장으로 신속히 확대되고 있다는 분석이다.
AMEC은 상반기 실적 예고 공시를 통해, 회사의 공정 챔버가 중국 내외 220여개 생산라인에서 양산에 사용되고 있다고 밝혔다. 이는 전년 말의 170개에서 약 50개가 늘어난 것으로, 공정 챔버는 반도체 장비에서 중요한 역할을 하는 핵심 공간으로서 웨이퍼 식각이나 박막 증착 등의 작업을 수행한다.
AMEC은 현재까지 54종의 첨단 반도체 장비를 개발했으며, 이 중에는 고·저에너지 플라즈마 식각 장비 26종뿐만 아니라 박막 증착, 화학기계연마(CMP), 계측·검사 장비 24종 등이 포함되어 있다. 또한, 회사는 식각·박막 장비의 공정 정밀도가 매우 높다고 밝히며, 신제품 개발 속도도 과거보다 빨라졌다고 설명했다.
이러한 발전에는 공격적인 연구개발(R&D) 투자가 큰 역할을 했다. AMEC은 상반기에만 전년 대비 37% 증가한 20억4200만위안(약 4300억원)을 R&D에 투자했으며, 이는 올해 상반기 매출의 30% 수준을 차지한다. 이는 중국 커촹반 상장사들의 평균 R&D 비중을 두 배 이상 웃도는 수치이다.
AMEC은 상반기 매출이 전년 대비 34.9% 증가할 것으로 전망되며, 순이익은 최대 310% 증가할 것으로 추산된다.