중국 국영기업이 반도체 제조용 심자외선(DUV) 노광장비을 생산했다는 소식에 시장 1위인 ASML 주가가 큰폭으로 떨어졌다.
블룸버그 통신은 27일(현지시간) 중국 상하이에 본사를 둔 국영기업이 액침 DUV 노광장비 양산을 시작했다고 IT매체 디인포메이션을 인용해 보도했다.
이름이 알려지지 않은 이 회사는 올해 DUV 장비 5대, 내년에는 20대 생산을 목표로 잡은 것으로 알려졌다.
노광 장비는 웨이퍼 위에 빛을 쏴 회로를 형성하는 필수 장비다. 회로 선폭에 따라 극자외선(EUV), DUV 등으로 나뉘는데, DUV는 10나노미터(㎚) 이상 회로를 구현하는데 주로 쓰인다, EUV와 견줘 최첨단 반도체 제조 활용도는 떨어지지만 여전히 시장 수요가 크다.
중국 현지 매체에 따르면, 올해 생산되는 장비는 SMIC·CXMT·화훙반도체 등 중국 반도체 제조사에 인도될 예정이다.
이번 보도에 이날 ASML 주가가 8.4% 급락했다. 미국 대중 수출 통제에도 중국이 반도체 자립에 진전을 이뤘다는 평가 때문이다.
ASML은 미국 주도 수출 통제로 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비와 최상급 액침 DUV 장비의 중국 판매가 제한된다. 중국에 공급할 수 있는 장비는 최신 모델보다 한참 뒤처진 제품이다. 다만 저가형 DUV로도 중국 시장은 지난 2분기 기준 ASML의 세번째 매출인 큰 지역이다.
중국산 DUV는 성능과 제조 품질 면에서 여전히 ASML 제품에 뒤처지며, 부품 공급 지연 등으로 올해 생산 속도가 다소 늦춰지고 있는 것으로 전해진다.
중국은 자국산 극자외선(EUV) 장비도 개발중이다. 아직 시제품 단계로 실제 양산까지는 수년이 더 걸릴 것으로 전망된다.